分子泵输送气体应满足二个必要条件： 1、涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有 0.06 μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动 0.06 μm ，就可能

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往复式真空泵(简称往复泵)又名活塞式真空泵，属于低真空获得设备之一。它与旋片式真空泵相比较，它能被制成大抽速的泵;与水环式真空泵相比，效率稍高。这类泵的主要缺点是结构复杂，体积较大，运转时振动较大等。其在很多场合可由液环式真空泵所取代。 往复泵的结构和工

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使用四极质谱仪，可分析真空腔体内的残留气体，通过实时分析气体成份，也可以实现真空检漏。四极质谱仪主体主要由离子源、四极电极和离子检测器构成(图1)，同时数据分析处理软件也非常重要。 四极质谱仪的核心是四极电极，直流电压和高频交流电压重叠±(U+Vcostω)，U是

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单级旋片真空泵一般极限压力只能达到1.3Pa(个别可达0.1Pa)，为什么极限压力不能再低呢?主要由于： (1)泵的结构上存在有害空间(见图6)，该空间中的气体是无法排除的。当旋片转过排气口后，这一部分气体又被压缩，经过转子与泵腔间的缝隙又回到吸气空间，所以每次总有些气

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使用压缩式真空计应注意的几个问题 ①首先应根据待测量的对象选择适当量程的压缩式真空计，以保证较高的测量精度。 ② 压缩式真空计在装入水银之前，要对压缩式真空计和水银分别进行严格的清洗处理。对压缩式真空计的清洗方法是：先用清洁水充分冲洗，再将重铬酸钾与浓硫

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石英真空计的工作原理是应用石英晶振在谐振时谐振阻抗的变化Z- Z0 与气体压强有关的特性。Z 为晶振在被测气体压强的谐振阻抗, Z0为晶振的固有阻抗, 它是在气体压强为零时的谐振阻抗。Z- Z0 随P 的增长单调上升,。测量Z- Z0 即可知气体的压强。 在测量过程中, 振荡电路电

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最初的真空计是由托里拆利制作的一端封闭充满水银的细长玻璃管发明的。根据测量的真空度范围和使用环境，现在最常使用的真空计有电容式隔膜真空计、热电偶真空计、热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计。 这几种真空计利用了不同的物理现象，其中电容式隔膜真空计利用的

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一、真空系统的结构 真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键，真空系统的结构合理与否，将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。 1、尽可能地避免出现小曲率半径的死角，要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。 2、抽空管道、送气管道等与真空室相连接的

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热偶真空计是借助于热电偶测量热丝温度的变化，用热电偶产生的热电势表征规管内的压力。DL-3型热偶规管的压力测量范围为102～10-1Pa。 热偶真空计的结构原理图如图4-7所示。它由热偶式规管和测量线路两部分组成。热偶规管主要由热丝和热电偶组成，热电偶的热端和热丝相连

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一、热传导真空计的优点 1、 热传导真空计反映的是全压力，即被测容器的真实压力。 2、 热传导真空计能连续测量，并能远距离读数。 3、 热传导真空计结构简单，容易制造。 4、即使突然遇到大气， 热传导真空计亦不烧毁。 二、热传导真空计的缺点 1、校准曲线因气体种类而

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利用真空计去测量稀薄气体的压力时，不仅一般常用的相对真空计与被测气体种类有关。而且不同种类的气体对真空计的影响也不同。如果被测气体是氮气或惰性气体，则基本无影响。但多数情况下，真空系统中的气体是氮、氧、氢、水蒸气、甲烷、油蒸气等多种气体和蒸气的不同组

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螺杆式无油机械真空泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内 ( 柱形等螺距 ) 进行传输运动，但无压缩，只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作

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罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于 1944 年首先出现于德国，是为适应在10～1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵使用。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同，分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵

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氦质谱真空检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。灵敏度、反应时间、清零时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 检测气体使用氦气的主要原因如下： (1)对人体和自然环境没有毒害； (2)不能燃烧，作业安全； (3)惰性气体，和被

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氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火

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复合式分子真空泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 (10-6 ～ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。 复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种：一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一

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1、真空规校准 利用静态稳压比对法校准低真空规管，原理是通过微调阀向校准室注入一定量的气体并使压力稳定，通过被校规测量的数值与标准规测量的数值进行比较，获得被校规的相关参数。该方法适用于测量范围在1×10-1 Pa～133kPa 内的规管校准。因为校准压力较高，为避免

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对机械真空泵的性能常用下列参量或其中的几个主要参量来说明。 1．抽气速率(体积流率)(s；单位：m3·s-1；L·s-1) 当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵

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真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。

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电容式隔膜真空计是利用隔膜在气体分子作用下发生变形而测量压强的真空计，其基本原理如图1所示。电容式隔膜真空计内部有两个空间，隔膜右侧连接真空，左侧的参照空间可以保持在大气压或其他一定的真空度。如果p2 <p1，则隔膜就如图1所示向右侧变形; 反之，就向左侧变形

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根据弹性薄膜在压差作用下产生形变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容薄膜真空计。它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在

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薄膜计可分为绝对式和差压式。把0帕定作零点标准的规称为绝对式,把任意压力值定作零点标准的规称作差压式。它的优点主要是性能稳定,精确度高,灵敏度与气体种类无关;结构牢固、抗振动、寿命长;并可测蒸气和腐蚀性气体的压力。缺点主要是预热时间很长,可能会影响工作。 校

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电离真空计是通过使气体分子电离，测量离子数量(电流)而得出压强的真空计。其测量真空度在10-8 Pa以上，被广泛应用于高真空至超高真空领域，定量性能优异。 电离真空计可以按照电离方式不同分为两种：一种是应用最广、依靠高温阴极热电子发射原理而工作的热阴极电离真空

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一、低温泵的抽气原理与分类 北方的冬天，在玻璃窗上常结一层霜，这就是低温抽气作用。水蒸汽凝结在0oC以下的玻璃表面上，使空气中水蒸汽的分压强降低了，达到了抽除水蒸汽的目的。 同理，如果设法使某一固体表面温度足够低，使其低于空气中主要气体成分的饱和蒸汽压温

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磁悬浮转子真空计属于衰减型黏滞性真空计，是基于磁悬浮转子转速的衰减与其周围气体分子所产生的外摩擦有关的原理制成的。依据转子悬浮方式的不同，磁悬浮真空计可分为非对称型和对称型两种型式。前者利用作用在转子上的螺旋线圈的磁力与转子自重之间的平衡，使转子悬浮

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气体分子平均自由程限制了磁悬浮转子真空计测量上限的扩展。当 p>1Pa时，气体分子平均自由程小于转子特征尺寸，破坏了公式(3-6)成立所需的假定条件，限制了该真空计的测量上限。但是，实验表明，在压力p一直增加到1×104Pa时，该计仍可使用。由于压力不同，为了维持转子固

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CF真空法兰的内侧有凸起的锋利刀口，通过挤压无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而达到密封真空的目的，是全金属材料的密封方式，被广泛应用于超高真空系统中。CF法兰也常用ICF法兰来表示，CF后面的数字是标准的导管内径，而ICF后面的数字是法兰的外径。常用CF法兰的型号

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什么叫CF法兰？什么是KF法兰？什么是ISO法兰？而ISO法兰又分ISO-K和ISO-F。那么它们之间又有什么区别和联系？的确，这些真空法兰都是真空系统设计中常用的的法兰标准，非专业人士的确也容易混淆，所以，在这里就将三种法兰的结构，适用的标准一一列举出来，希望对大家有

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它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。 (1)往复式真空泵 利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。 (2)旋转式真空泵 利用泵腔内转子部件的旋转运动

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背压法氦质谱真空检漏 采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连

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