利用真空计去测量稀薄气体的压力时，不仅一般常用的相对真空计与被测气体种类有关。而且不同种类的气体对真空计的影响也不同。如果被测气体是氮气或惰性气体，则基本无影响。但多数情况下，真空系统中的气体是氮、氧、氢、水蒸气、甲烷、油蒸气等多种气体和蒸气的不同组合，其中尤其是氧、水蒸气、油蒸气等组分会给真空计规管带来很大的影响。因此在选择真空计时，需要考虑被测气体成分对规管的寿命及测量准确性带来的影响。

氧气对真空计的影响

氧气是理想气体，可以用麦氏真空计进行测量，但是当氧分压过高时，会使水银表面发生氧化，影响水银的表面张力，使水银在毛细管中移动时位置不准确，造成测量误差。

普通热传导(例电阻)真空计的灯丝在高温下会氧化，改变热丝的表面状态，引起规管零点漂移和灵敏度的改变，应采用抗氧化热丝的规管。热阴极电离规灯丝亦易氧化，使其寿命缩短。

对氧分压较高的气体氛围，在粗低真空范围内可用薄膜真空计测量；高真空时使用辐射真空计和冷阴极规管。

电阻真空计和钨阴极热阴极电离计规管灯丝的材料为钨，钨丝温度较高，高温灯丝与水蒸气发生氧化作用，水蒸气会被高温钨表面分解并与钨反应生成氧化钨和原子态氢，氧化钨蒸发后便附着在规管玻壁上。原子态氢则从管壁上的氧化钨中夺取氧再变成水蒸气。这样循环下去，水蒸气就起着”运输”钨的作用。致使钨阴极不断的蒸发，而使灯丝迅速损坏。特别是水蒸气分压大于10-2Pa时，规管的寿命很短，不易用于测量水蒸气。