氦质谱真空检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。灵敏度、反应时间、清零时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。

检测气体使用氦气的主要原因如下：

(1)对人体和自然环境没有毒害；

(2)不能燃烧，作业安全；

(3)惰性气体，和被检测对象不会发生化学反应；

(4)分子直径和质量小，容易穿过微小缝隙，便于检漏；

(5)通常环境下保持气体状态，不会堵住微漏孔；

(6)真空腔体自身放出的气体中几乎不包含氦气；

(7)氦气在空气中的存在量仅为5ppm，容易定点查清漏气位置。

由于氦气比空气轻很多，向真空腔体喷氦气检漏时要从上往下依次操作，否则不利于判定漏点所在。当腔体构造复杂，或漏率极小时，可针对重点部位用塑料袋套住，然后向塑料袋内部充入氦气，实现对特定重点部位的检漏。

一般情况下，真空检漏时要重点关注以下部位：

(1)法兰接口部位；

(2)焊接部位；

(3)波纹管部位；

(4)其他密封部位。