氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。 氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏

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复合式分子真空泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 (10-6 ～ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。 复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种：一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一

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真空阀门的种类繁多，且在真空系统中起着重要作用，通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类，本文讲述了二种常见的真空阀门连接形式。 1、法兰连接 这是阀门中用得最多的连接形式。按结合面形状又可分为以下几种： 1)光滑式：用于压力不高的阀门。加

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1、真空规校准 利用静态稳压比对法校准低真空规管，原理是通过微调阀向校准室注入一定量的气体并使压力稳定，通过被校规测量的数值与标准规测量的数值进行比较，获得被校规的相关参数。该方法适用于测量范围在1×10-1 Pa～133kPa 内的规管校准。因为校准压力较高，为避免

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对机械真空泵的性能常用下列参量或其中的几个主要参量来说明。 1．抽气速率(体积流率)(s；单位：m3·s-1；L·s-1) 当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵

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真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。

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电容式隔膜真空计是利用隔膜在气体分子作用下发生变形而测量压强的真空计，其基本原理如图1所示。电容式隔膜真空计内部有两个空间，隔膜右侧连接真空，左侧的参照空间可以保持在大气压或其他一定的真空度。如果p2 <p1，则隔膜就如图1所示向右侧变形; 反之，就向左侧变形

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根据弹性薄膜在压差作用下产生形变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容薄膜真空计。它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在

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薄膜计可分为绝对式和差压式。把0帕定作零点标准的规称为绝对式,把任意压力值定作零点标准的规称作差压式。它的优点主要是性能稳定,精确度高,灵敏度与气体种类无关;结构牢固、抗振动、寿命长;并可测蒸气和腐蚀性气体的压力。缺点主要是预热时间很长,可能会影响工作。 校

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电离真空计是通过使气体分子电离，测量离子数量(电流)而得出压强的真空计。其测量真空度在10-8 Pa以上，被广泛应用于高真空至超高真空领域，定量性能优异。 电离真空计可以按照电离方式不同分为两种：一种是应用最广、依靠高温阴极热电子发射原理而工作的热阴极电离真空

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一、低温泵的抽气原理与分类 北方的冬天，在玻璃窗上常结一层霜，这就是低温抽气作用。水蒸汽凝结在0oC以下的玻璃表面上，使空气中水蒸汽的分压强降低了，达到了抽除水蒸汽的目的。 同理，如果设法使某一固体表面温度足够低，使其低于空气中主要气体成分的饱和蒸汽压温

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磁悬浮转子真空计属于衰减型黏滞性真空计，是基于磁悬浮转子转速的衰减与其周围气体分子所产生的外摩擦有关的原理制成的。依据转子悬浮方式的不同，磁悬浮真空计可分为非对称型和对称型两种型式。前者利用作用在转子上的螺旋线圈的磁力与转子自重之间的平衡，使转子悬浮

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气体分子平均自由程限制了磁悬浮转子真空计测量上限的扩展。当 p>1Pa时，气体分子平均自由程小于转子特征尺寸，破坏了公式(3-6)成立所需的假定条件，限制了该真空计的测量上限。但是，实验表明，在压力p一直增加到1×104Pa时，该计仍可使用。由于压力不同，为了维持转子固

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CF真空法兰的内侧有凸起的锋利刀口，通过挤压无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而达到密封真空的目的，是全金属材料的密封方式，被广泛应用于超高真空系统中。CF法兰也常用ICF法兰来表示，CF后面的数字是标准的导管内径，而ICF后面的数字是法兰的外径。常用CF法兰的型号

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什么叫CF法兰？什么是KF法兰？什么是ISO法兰？而ISO法兰又分ISO-K和ISO-F。那么它们之间又有什么区别和联系？的确，这些真空法兰都是真空系统设计中常用的的法兰标准，非专业人士的确也容易混淆，所以，在这里就将三种法兰的结构，适用的标准一一列举出来，希望对大家有

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它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。 (1)往复式真空泵 利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。 (2)旋转式真空泵 利用泵腔内转子部件的旋转运动

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 对于容积真空泵性能检测用的压缩式真空计,一般而言, 其量程在100～ 1022Pa 范围, 精度要求在±10% 已足够。欲替代压缩式真空计一定要满足这一必要条件。除此之外, 按照现行部标准JB/T 7266294 的要求, 用作容积真空泵性能检测用的压缩式真空计, 由于测量的是永久性气体分

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涡旋干式真空泵的结构类型  1、公转型 公转型是一个涡旋固定不动( 称为静涡旋) ，另一个绕着它公转平动( 称为动涡盘) ，动涡盘由曲柄轴驱动，密封点位置随主轴同步转动。它整体结构简单、零件少、涡旋回转线速度小、机械磨损少，但需进行平衡设计。涡旋真空泵利用最外侧

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涡轮分子泵工作时振动的产生及其减振措施保证分子泵工作精度的最主要问题是尽量减少泵工作时的振动。组成分子泵的零部件以及安放它的基础，都可以认为是一个弹性系统。当分子泵高速运转工作时，泵在其平衡位置作往复性机械运动，即是分子泵的振动。 涡轮分子泵振动产生的

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涡轮分子泵振动的防护措施，为了减少分子泵整机工作时的振动，在泵的设计制造中应采取以下措施： 1、在工艺条件允许的情况下，尽可能提高零部件的加工精度。 2、对电动机主轴及涡轮转子等旋转零部件进行严格的动平衡试验。 3、为了防止产生共振，确保泵安全运转，泵设计

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分子泵输送气体应满足二个必要条件： 1、涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有 0.06 μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动 0.06 μm ，就可能

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涡轮分子泵是1956年德国人W.Becker发明的一种高速旋转的机械真空泵。它也是一种大抽速可获得超高真空的新型分子泵。在各个应用领域中得到了广泛的应用和普及。1985年以来出现了一种工作压力范围更宽的大流量的复合式涡轮分子泵，它可代替扩散泵+罗茨泵或涡轮分子泵+罗茨

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罗茨泵站需要在纯粹的容积水平上运行，且与旋片式真空泵相比，罗茨泵不具有内部压缩功能。它能够对排气压力进行压缩。与旋片式真空泵相比，与介质接触的所有部件都是无油的，而且，所有适用于罗茨泵的部件同样适用于干式真空泵。它的特点就是结构紧凑、泵速高。罗茨泵以

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罗茨泵站需要在纯粹的容积水平上运行，且与旋片式真空泵相比，罗茨泵不具有内部压缩功能。它能够对排气压力进行压缩。与旋片式真空泵相比，与介质接触的所有部件都是无油的，而且，所有适用于罗茨泵的部件同样适用于干式真空泵。它的特点就是结构紧凑、泵速高。罗茨泵以

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分析了三种实际应用较为广泛的，分别带有阿基米德线、渐开线、余摆线的螺杆真空泵螺杆转子型线，具体比较了三种型线组成曲线啮合特性和型线的优劣。详细阐述了螺杆的车削加工方法，分别建立了带有刀位点的三种螺杆车削加工模型，并且给出了车削刀-具的选取依据。最后，简

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分析了三种实际应用较为广泛的，分别带有阿基米德线、渐开线、余摆线的螺杆真空泵螺杆转子型线，具体比较了三种型线组成曲线啮合特性和型线的优劣。详细阐述了螺杆的车削加工方法，分别建立了带有刀位点的三种螺杆车削加工模型，并且给出了车削刀-具的选取依据。最后，简

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一、带有阿基米德端面型线分析 目前螺杆真空泵市场上常用的型线是由阿基米德曲线及其包络曲线、大小两段圆弧、外余摆线五段线组成，国外Rietschle、KINNY、TAIKO、VPS等公司采用类似结构的型线。如图1 所示，该端面型线由阿基米德曲线e1a1、其包络线d1e1、小圆弧c1d1 和

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一、螺杆真空泵选型介绍 1、设备参数 设备型号：VPS-P2700；设备型式卧式；介质：空气、微量环丁砜、二氧化硫、水蒸汽和阻聚剂；吸气压力：-0.099Mpa(A)；排气压力：0.02Mpa(A)；吸气温度：<60℃；排气温度：<180℃；转数：1450rpm；电机功率：55kW，变频调节。 2、过流

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螺杆真空泵在制药行业溶媒回收中的应用 采用溶媒结晶工艺的原料药，通常在结晶后进行过滤、洗涤和真空干燥。物料中含湿通常在20%~200%，湿物料所含溶媒通常是易燃、易爆、有毒、有害的介质，它们在干燥过程中被真空机组抽走。 传统的湿式真空系统普遍选用罗茨-液环真空

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罗茨真空泵组是双转子容积式真空泵。其在泵腔内有两个形状对称的转子，转子形状有两叶、三叶和四叶。 两个转子按一定相位安装在一对平行轴上，由轴端齿轮(i =1)驱动做同步反向旋转运动。转子彼此无接触，转子与泵腔壁也无接触，其间通常有0.15～1.0mm的间隙。 罗茨真空

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