对机械真空泵的性能常用下列参量或其中的几个主要参量来说明。

1．抽气速率(体积流率)(s；单位：m3·s-1；L·s-1)

当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。

2．极限压力（极限真空）（单位：Pa）

泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力。

3．起动压力

泵无损坏起动并有抽气作用的压力

4．前级压力

排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。

5．最大前级压力

超过了能使泵损坏的前级压力。

6．最大工作压力

对应最大抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏·

7．抽气量（Q单位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）

流经泵入口的气体流量。

8．压缩比

泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

其中泵的抽气速率和极限压力两个参量是在实际应用中选配真空泵的最重要的参量。