使用四极质谱仪，可分析真空腔体内的残留气体，通过实时分析气体成份，也可以实现真空检漏。四极质谱仪主体主要由离子源、四极电极和离子检测器构成(图1)，同时数据分析处理软件也非常重要。

四极质谱仪的核心是四极电极，直流电压和高频交流电压重叠±(U+Vcostω)，U是直流电压，V是交流电压。离子源产生的离子经过5～10V加速后沿z方向入射，受到高频电压作用后一边在x和y方向振动一边沿z方向前进。

因此扫描交流电压后，对应质荷比的离子才能穿过四极电极，最终到达离子检测器。四极质谱仪的主要参数为检测质量范围、感度和扫描速度。

即使是超高真空腔体，也会由于漏气、透气和真空中物体的气体放出等原因，造成腔体内有多种残留气体。图2是笔者实验室真空系统的残留气体分析结果，可知真空腔体内仍存在较多的氢气和水分等残留气体。

使用四极质谱仪检漏，也同样可以像氦质谱仪那样从外部吹氦气，如果存在漏点，则分析结果中氦气对应的峰值会迅速升高。

上述检漏是比较高级的方法，如果没办法使用氦质谱检漏仪真空检漏或四极质谱仪真空检漏，则可以使用酒精进行简单的检漏。用注射器向要检测的部位喷射少量酒精，同时观测真空计的显示变化。如果该部位漏气，则真空计的显示数值会发生突然变化。