对于容积真空泵性能检测用的压缩式真空计,一般而言, 其量程在100～ 1022Pa 范围, 精度要求在±10% 已足够。欲替代压缩式真空计一定要满足这一必要条件。除此之外, 按照现行部标准JB/T 7266294 的要求, 用作容积真空泵性能检测用的压缩式真空计, 由于测量的是永久性气体分压强, 因此又要求足测试永久性气体分压强的特定条件。

鉴于上述两个要求, 我们认为选择薄膜真空计、冷阱的组合装置不仅是适宜的, 而且也是可取的。

薄膜式真空计是利用薄膜片受力产生形变的原理而制成的一种相对式真空计, 也是一种全压强真空计。其特点为精度高, 响应快、稳定可靠、使用方便, 尤其是结构小巧坚固, 材质耐腐蚀, 且能长期承受过载运行, 特别适宜于在恶劣环境中工作, 在这些方面比之于压缩式真空计具有明显的优越性, 也完全避免了使用有毒有害的汞介质。然而, 要采用薄膜真空计替代容积真空泵性能检测用的压缩式真空计必须解决以下三个技术关键。

① 扩展现有薄膜真空计的测量下限。一般而言, 我国现有的薄膜真空计的下限为0. 1Pa, 为此,必须研制测量下限为0. 02Pa 以下的低量程薄膜真空计。

② 消除水、油等可凝性蒸汽的影响, 使薄膜真空计测得的应与压缩式真空测量的同样是永久性气体的分压强。

③ 薄膜真空计是一种相对真空计, 由显示仪表输出的是电参量, 为此必须解决真空计的量值校准问题。