CF真空法兰的内侧有凸起的锋利刀口，通过挤压无氧铜垫圈(或其他软金属)使其变形而达到密封真空的目的，是全金属材料的密封方式，被广泛应用于超高真空系统中。CF法兰也常用ICF法兰来表示，CF后面的数字是标准的导管内径，而ICF后面的数字是法兰的外径。常用CF法兰的型号和尺寸。

CF法兰分为固定型和松套型两种。固定型法兰为一体化结构。松套型法兰由挤压铜垫圈的刀口部分和通过螺栓的固定部分构成。法兰上可开通孔或螺纹孔。开有通孔的法兰要通过螺栓和螺母固定;开有螺纹孔的法兰可直接使用螺栓固定。法兰的材质主要为 SUS304(或 SUS304L)，因为SUS304放出气体少，加工和焊接比较容易。

CF法兰的特点是不分雌雄，包括无氧铜垫圈在内全部由金属构成，因此可以承受高温(250℃以上)烘烤。其缺点是价格高，无氧铜垫圈不能多次重复使用。

1、CF法兰的安装

CF法兰的安装要求较高。因为无氧铜垫圈被挤压后会变形，所以用均等力量扭紧螺栓非常重要。如果螺栓用力不均匀，会使对角位置的法兰翘起，以至于漏气。扭紧螺栓的力矩大约如下：M4螺栓20kgf·cm，M6螺栓70kgf·cm，M8螺栓100kgf·cm。

2、CF法兰使用注意事项

CF法兰使用时有几个注意点：螺栓一定要涂抹 MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死;法兰外周要对齐;法兰面要保持一点距离，为烘烤后继续上紧螺栓留出余地。

CF法兰中，刀口要切入金属密封圈来实现真空密封。长期使用，刀口会逐渐变钝。另外，受硬器碰撞后刀口容易受伤。这时的补救措施之一，是使用IPD金属密封圈。IPD金属密封圈不依靠法兰的刀口，而依靠刀口外周的斜面来密封。