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磁悬浮转子真空计测量的特点和限制因素

发布人: 小能手
分类: 工业制造
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  • 气体分子平均自由程限制了磁悬浮转子真空计测量上限的扩展。当 p>1Pa时,气体分子平均自由程小于转子特征尺寸,破坏了公式(3-6)成立所需的假定条件,限制了该真空计的测量上限。但是,实验表明,在压力p一直增加到1×104Pa时,该计仍可使用。由于压力不同,为了维持转子固定的转速,驱动功率也不同,于是,可按预先绘制的压力与驱动功率关系曲线来测量压力。所以,在11×104Pa的高压力范围,磁悬浮转子真空计不再是标准真空计。

    1、磁悬浮转子真空计与压缩式真空计同属于标准真空计,但其量程较宽(10-110-5 Pa)。用它做互校传递标准计,累积误差小、可靠性和重复性好。

    2、磁悬浮转子真空计是无源器件,其规管内部没有高速电子和离子,没有热丝,不存在热及辐射效应。

    3、转子规管体积小,吸气和放气现象完全可以忽略,不会影响被测空间的气体成分和压力,特别适用于不允许规管与气相彼此作用的场合。

    4、磁悬浮转子真空计每测量一个点必须间隔半分钟,所以只能用于压力变化缓慢的真空室或密闭空间。

    5、测量精度主要取决于转速ω的测量精度和温度T的恒定,因此测量时务必维持T恒定和采用较高精度的测速技术及仪表。

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