性价比高、技术可靠性强、使用寿命长是旋片式真空泵多年来持续成功的重要因素。六多年的压缩经验以及对各类气体优秀的的抽气能力是这类泵最显著的特色。由于遵循内部压缩原理运行的旋片式真空泵为机油润滑和密封式结构，因此影响该泵可靠性和寿命的最主要因素是泵内蒸汽、化学物质的侵蚀以及润滑剂的老化。

1、抽蒸汽

大多数的旋片式真空泵厂商会对设备的蒸汽耐受性为多少hPa 或蒸汽的容量为多少克/小时进行详细说明。这些信息指的是水蒸气。当气镇阀开启且真空泵处于工作温度时，如果进气压力低于给出值，那么泵出的水蒸气就无法冷凝。在干燥过程中，泵的大小并非是由泵速按照蒸汽量的大小而决定，而是由每单位时间收集的水量决定。因此，当务之急是使用封闭的真空侧阀和开启的气镇阀对泵进行预热大约15 至30 分钟，以达到其最佳的工作温度(油)(大约为70-80 °C)。只有在正确的工作温度下才可经由开启的气镇阀将蒸汽泵出。延迟开启的高真空阀很容易被集成到控制系统中。下表显示了泵的温度依赖关系以及违规操作的后果。

2、工作液

在旋片式真空泵中，工作液(即真空泵油)主要担负三项重要功能：密封、润滑阀门和轴承以及将铝壳上的压缩和摩擦热传导出去以实现对泵体的冷却。

使用传动装置和润滑剂保持油位是所有油封旋片式泵和真空泵重要的预防性维护和日常维护。如果油液位下降过低，那么泵系统就再也不能得到润滑。由于缺乏润滑，泵系统就会运转受阻，最终导致泵故障。油位过低还将造成无法对压缩热量实现最优耗散。泵过热会导致工作液迅速老化，缺乏润滑和油碳形成最终将会导致泵故障。因此，一定要确保泵的油位不能低于观测镜的中间位置。