茨泵需要在纯粹的容积水平上运行，且与旋片式真空泵相比，罗茨泵不具有内部压缩功能。它能够对排气压力进行压缩。与旋片式真空泵相比，与介质接触的所有部件都是无油的，而且，所有适用于罗茨泵的部件同样适用于干式真空泵。它的特点就是结构紧凑、泵速高。罗茨泵以其发明者的姓名命名。

7、灰尘堆积

在会产生颗粒或挟带灰尘的工艺过程中，如在冶金或拉晶过程中，有必要在泵的进气口安装一个滤尘器，保护罗茨泵和下游泵。应该在罗茨泵的进气口处安装所谓的碎片保护网，防止在第一次使用系统时，由于清洁不当导致有较大固体物质和焊珠从焊接接头射出。在这种情况下，建议使用泵制造商的配件，因为设计了碎片保护网，以使其自由截面与泵的公称直径相符。这保证了泵速不会因意外的电导损耗量而受到影响。

8、抽取稀有贵重气体

当抽取贵重且纯度较高的气体时，如氦3或氦4，必须不惜一切代价避免这些气体与周围环境空气相接触。此时要求泵体在低于10-5 至10-8 hPa l/s 的区域内具有较高的气密性和较低的泄漏率。一些真空泵生产商，像普发真空，能够为电机提供永磁联轴器代替普通的轴馈穿件。这使所有轴封环上存在的泄露成为历史。还可以使用封闭式电机，但操作人员在维修时必须依赖于泵生产商，因为这类封闭式电机是专门为该泵而开发的。比如使用磁耦合技术，可以使用具有成本效益的标准电机。