真空泵隔膜式止回阀是近年来发展较快的一类止回阀。尽管隔膜式止回阀的使用温度和工作压力受到隔膜材料的限制，但其防止水锤的性能好，制造简单，造价低，噪声小，特别适用于压力、温度较低的场合。隔膜式止回阀有多种结构形式。

一、平板隔膜止回阀

所示的平板隔膜止回阀是用环形弹性隔膜作为阀瓣，用带孔口的钢板作为阀座。其优点是阀内没有运动的机械零件，工作时无噪声，适用于各种流量与流速的系统。与普通的旋启式止回阀相比，水锤压力很小。

二、鸭嘴式止回阀

所示的橡胶排污止回阀在西班牙称为“鸭嘴形柔性止回阀”；而在美国称为“鸭嘴形橡胶止回阀”。由于阀门形状像鸭嘴所以常称鸭嘴阀，橡胶排污止回阀产品有法兰连接和卡箍连接两种。

三、锥形隔膜止回阀

锥形隔膜止回阀有一个锥形穿孔篮子形部件，此部件支撑内部的隔膜。这种阀门装在管道上的两个法兰之间，或者夹紧在管接头之间。通过锥形体的流体介质将隔膜从其阀座上掀起，介质继而通过。当顺流停止时，隔膜就重新恢复其原来的状态，且关闭极为迅速。

四、褶皱的环状橡胶隔膜止回阀

所示的止回阀采用了褶皱的环状橡胶隔膜作为关闭件。当阀门关闭时，褶皱上的唇形膜片关闭了流道的中心孔，顺流时褶皱膜张开，唇形膜片从阀座上缩回。