清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境.自能够创造真空环境开始,人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果.时至今日,清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、住赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品.在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点:

①无油，无摩擦——真空腔内无油，非接触，无磨损，不产生微粒尘埃污染，可获得清洁真空;

②抽气量大——双涡旋盘，结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍，节省能源;

③抽气效率高——带有3-4个抽气单元，压差小;大气与真空之间由O型圈密封，泄漏低;

④非接触,良好平衡,力矩影响小，噪音低，振动小;

⑤结构简单紧凑，相同尺寸下，运动半径小，运行平稳;

⑥体积小，维修方便，维护费用低;

⑦采用空气冷却，无需水冷。

目前无油涡旋真空泵的应用领域为:

①半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备;

②科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;

③机械设备行业——材料制备设备、真空检测、材料提纯设备;

④化学工业;

⑤医疗设备——牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备;

⑥包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。