利用真空计去测量稀薄气体的压力时，不仅一般常用的相对真空计与被测气体种类有关。而且不同种类的气体对真空计的影响也不同。如果被测气体是氮气或惰性气体，则基本无影响。但多数情况下，真空系统中的气体是氮、氧、氢、水蒸气、甲烷、油蒸气等多种气体和蒸气的不同组合，其中尤其是氧、水蒸气、油蒸气等组分会给真空计规管带来很大的影响。因此在选择真空计时，需要考虑被测气体成分对规管的寿命及测量准确性带来的影响。
1、水蒸气对真空计的影响
水蒸气是可凝性气体，压缩式真空计测量时要压缩被测气体，使水蒸气凝结，因此在一般情况下不能用压缩式真空计进行测量。它对热传导真空计的影响与氧气一样，会使规管零点漂移和灵敏度发生变化。
在通常情况下。对水蒸气的测量可采用U形压力计和薄膜规、辐射真空计、粘滞规、克努曾真空计等。冷阴极规管不会发生氧化问题，也可以用于水蒸气分压高的真空系统的测量。
2、油蒸气对真空计的影响
在采用有油的抽气系统(机械泵、油扩散泵)抽气时，系统中存在大量的有机油蒸气及其分裂物，它们的蒸气压都比较低，因此不能用压缩式真空计进行测量。如用压缩式真空计测量机械泵的极限真空度时．要比用热传导真空计测得的数据高一个数量级。用油U型压力计测量油蒸气时。因工作油可以溶解油蒸气，所以也不能得到正确的指示。
用热传导真空计或电离真空计测量油蒸气时。会因油蒸气污染灯丝或在高温阴极上分解生成碳氢化合物，严重的污染电极和管壁，使热传导情况改变，而使规管的灵敏度和特性发生明显的变化，造成测量误差。