真空阀门主要用来切断或连通管路气流，以及调节气流量的大小。

常用真空阀门的密封部有橡胶垫圈密封结构和金属垫圈密封结构。橡胶垫圈密封结构是利用阀板与阀座压紧橡胶垫圈，依靠橡胶的弹性变形来实现的密封。金属垫圈密封结构是依靠软金属受压产生塑性变形而达到密封目的。橡胶垫圈密封结构一般用于中低真空领域;金属垫圈密封结构一般用于高真空和超高真空领域。

真空阀门的主要性能参数是导通率、漏气率、开关动作的可靠性和准确性，以及阀门的开闭时间。阀门按照驱动形式分为手动和自动两种。自动阀门以压缩空气驱动为主，一部分小型阀门通过电磁铁来驱动。真空系统中常用的阀门大体有4种形式，即角阀、闸板阀、微调阀、放气阀。另外，在气路中常用到针阀和球阀。各种真空阀门根据应用的真空领域和使用目的而选定。