1、真空阀门的密封性能要求，即应用有较高的气密性，不但阀盖(亦称阀板)封闭处漏气率要求，而且阀体的漏气率也要求;

2、阀门密封部件耐磨性要好。特别是阀座与阀盖密封部件要能反复使用、寿命长;

3、阀门对气流的阻力尽量小，即阀门的流导尽可能要好;

4、阀门材料应具有低饱和蒸气压、高抗腐蚀能力和高化学稳定性、超高真空阀门材料应耐烘烤。烘烤温度一般不低于150℃、最高450℃;

5、阀门零部件加工工艺性要好，表面处理工艺先进，阀门连接法兰应符合真空法兰国家标准要求。具有通用性、互换性;

6、阀门结构要简单，造型美观大方，开关轻便、灵活。开关状态应有标志。大型阀门(公称直径500mm以上)应用起吊装置，操作方便，维修容易。