一、材料的吸气、放气

人们很早就知道某些材料具有很强的吸气能力，如活性炭等。现在已进一步了解到大多数金属和非金属材料或多或少都具有这种能力，这是真空技术，特别是超高真空技术中非常重要的物理现象，可为人们获得、提高或维持系统的真空度提供重要的手段。

但是，对于真空阀门设计来说，感兴趣的是这种物理现象的逆过程，即放气现象，研究这种放气现象对于提高真空阀，特别是超高真空阀的产品质量是极其有益的。

材料的放气是真空阀门总漏量中的一个重要组成部分。气体的来源主要有：吸附于真空阀零件内表面的气体；从金属内部扩散出来的气体以及金属表面因发生某种化学反应而释放出来的气体。

1、不锈钢的放气量很小。只及铜的1/10左右，与铝相比，则仅为它的1/100左右；

2、橡胶与树脂的放气量比金属材料都要高出100倍左右，最高的如硅橡胶则要高出1000倍以上。

放气现象与温度有关，温度越高，放气速率越大。因此用加热方法除气是一种十分有效的手段，材料经过烘烤后的放气量要大大低于未烘烤时的放气量。

二、蒸气压、蒸发、蒸发(升华)速率

物质通常有三种不同的状态，即气态、液态、固态。它们依据一定条件而相互变化，液态转化成气态的过程称为蒸发；固态转化为气态的过程称为升华。

一定温度下，在封闭的真空空间中，液体(或固体)汽化的结果，使空间的蒸气密度逐渐增加，当达到一定蒸气压之后，单位时间内脱离液体(或固体)表面的汽化分子数与从空间返回液体(或固体)表面的再凝结分子数相等，即蒸发(或升华)速率与凝结速率达到动态平衡，可认为汽化停止，这时的蒸气压称为该温度下液体(或固体)的饱和蒸气压。