涡轮分子泵工作时振动的产生及其减振措施保证分子泵工作精度的最主要问题是尽量减少泵工作时的振动。组成分子泵的零部件以及安放它的基础，都可以认为是一个弹性系统。当分子泵高速运转工作时，泵在其平衡位置作往复性机械运动，即是分子泵的振动。

涡轮分子泵振动产生的原因分子泵的振动，主要是其振动零部件的不平衡引起的，主要因素有：

1、涡轮转子以及电动机主轴的不平衡是产生振动的主要来源。从涡轮转子的结构看，影响其平衡的原因有：

a、转子的材质不均 ( 包括密度不均和膨胀系数的不均 ) ；

b、涡轮转子的各组成零件在制造中的加工误差，如同轴度、转子端面的平行度、转子体的不对称性等等；

c、转子的装配质量。如涡轮转子上下叶轮因装配不当产生偏差;涡轮转子在电动机轴上装得不正;或装配时压紧力不足，高速运转后产生松动等。

以上诸因素会造成涡轮转子的质量分布不均，形成一定的质量偏心，当转子转动时产生不平衡的离心力，从而使分子泵产生有害的振动和噪音。

2、由于涡轮分子泵的转速很高，因此防止产生共振也是一个重要问题。在分子泵的设计中应正确地选用工作转速和合理地设计电动机的主轴。

3、主轴的支承条件，如轴承的精度、安装方式、润滑条件等对分子泵的振动也将产生较大的影响。