罗茨泵站需要在纯粹的容积水平上运行,且与旋片式真空泵相比,罗茨泵不具有内部压缩功能。它能够对排气压力进行压缩。与旋片式真空泵相比,与介质接触的所有部件都是无油的,而且,所有适用于罗茨泵的部件同样适用于干式真空泵。它的特点就是结构紧凑、泵速高。罗茨泵以其发明者的姓名命名。
1、启动泵
如果使用了多级泵站或者多个并行操作的真空泵组合,那就有必要以交错的间隔来启动这些泵,最先要启动的是大气泵,这样可以避免过度的电力峰值以及保护高成本的断路器。这通过计时元件可很容易地在控制器和PLC中实现。还有一种方法,就是使用一个变频器,缓慢地启动泵。
2、液体侵入
突然的液体侵入会损坏泵,因为发生急剧冷却时,气体无法达到所需的温度来蒸发液体。额外的蒸汽不能及时泵出,因为前级泵已经超负荷且前级压力可能上升到过高的水平。为防止这种情况的发生,有必要在处理室和罗茨泵之间安装一个接收器,以使液体在没进入泵前就被吸收。
3、灰尘堆积
在会产生颗粒或挟带灰尘的工艺过程中,如在冶金或拉晶过程中,有必要在泵的进气口安装一个滤尘器,保护罗茨泵和下游泵。应该在罗茨泵的进气口处安装所谓的碎片保护网,防止在第一次使用系统时,由于清洁不当导致有较大固体物质和焊珠从焊接接头射出。在这种情况下,建议使用泵制造商的配件,因为设计了碎片保护网,以使其自由截面与泵的公称直径相符。为这保证了泵速不会因意外的电导损耗量而受到影响。
4、抽取稀有贵重气体
当抽取贵重且纯度较高的气体时,如氦3或氦4,必须不惜一切代价避免这些气体与周围环境空气相接触。此时要求泵体在低于10-5 至10-8 hPa l/s 的区域内具有较高的气密性和较低的泄漏率。一些真空泵生产商,像普发真空,能够为电机提供永磁联轴器代替普通的轴馈穿件。这使所有轴封环上存在的泄露成为历史。还可以使用封闭式电机,但操作人员在维修时必须依赖于泵生产商,因为这类封闭式电机是专门为该泵而开发的。比如使用磁耦合技术,可以使用具有成本效益的标准电机。