涡旋干式真空泵的结构类型
1、公转型
公转型是一个涡旋固定不动( 称为静涡旋) ,另一个绕着它公转平动( 称为动涡盘) ,动涡盘由曲柄轴驱动,密封点位置随主轴同步转动。它整体结构简单、零件少、涡旋回转线速度小、机械磨损少,但需进行平衡设计。涡旋真空泵利用最外侧涡圈包容气体形成封闭吸气腔。为了减少涡盘末端和进气口之间的流导,常将进气口设在涡旋盘外圈末端附近。
同时为了保证中心压缩腔中的气体在排气过程中尽量排走,一般将排气孔设在静涡盘中心附近。因为涡旋泵内压缩比不是很大,常设置排气阀以消除压缩不足,但应使排气阀与涡圈顶部之间的容积尽可能小。为了提高抽速或减少涡盘尺寸,常设计采用双侧涡旋。
2、回转型
回转型是由两个涡旋盘心轴分别装在两侧轴承上,其中一个由电机直接驱动,另一个由十字滑环机构带动,沿相同角度旋转。其密封位置形成一条线,方向始终不变,泵采用立式结构。驱动电机在机壳内上部,涡盘在下部。因其密封方向不变,回转径向密封既便于人为控制,又能避免涡圈侧面接触而需进行的卸载运转,但其整体结构复杂、零件多、机械磨损高。