涡轮分子泵振动的防护措施，为了减少分子泵整机工作时的振动，在泵的设计制造中应采取以下措施：

1、在工艺条件允许的情况下，尽可能提高零部件的加工精度。

2、对电动机主轴及涡轮转子等旋转零部件进行严格的动平衡试验。

3、为了防止产生共振，确保泵安全运转，泵设计时，应使主轴的工作转速 n 在其各阶临界转速之外。在轴的初步设计时，应对其临界转速进行验算，至少使其与工作转速相差 20 %左右，否则应改变轴的尺寸或刚性来达到上述要求。

4、对主轴轴承的外侧设置橡胶减振环。橡胶减振环除了具有减振、隔音效果外，还有利于越过共振区，衰减高频振动和噪音的作用。

5、为减少分子泵的振动向外传递以及减少外界振动对分子泵的影响，在分子泵的四个支柱下装有四个橡胶垫以起到隔振作用。