涡旋干式真空泵由一个固定的渐开线涡旋盘和一个呈偏心回旋平动的渐开线运动涡旋盘组成可变容积的真空泵。涡旋真空泵的独特设计,使其成为当今世界最节能的真空泵之一。
但现存各家的涡旋式真空泵(日本、英国及美国的厂商)采用的非浮动式的传统技术,虽然比起其他真空泵来具有明显的优势,但仅限于50至1000L/min的微流量应用领域。传统的涡旋技术,促使对涡卷的加工要求精度高,成品率低,固定扰动半径使动定涡卷之间存在一定的磨擦,其维修周期还是相对较短,并未充分发挥涡旋技术的优势。
浮动式涡旋真空泵结构,通过精细的力平衡(气体压力与推力之间的平衡),使得涡卷盘在无油或微油的条件下,始终保持适当的接触,使之达到完全密封状态而又将摩擦损失最小化,从而直接提高了产品的压缩效率,可靠性及使用寿命。浮动式涡旋真空泵结构,不采用动涡卷顶端密封结构,无PTFE密封磨屑,成为最理想的洁净真空获得设备。
浮动式涡旋真空泵,采用动定涡卷之间自补给设计结构,从而解决其他设计结构因产品正常运行磨损,而导致抽气速率及真空度逐步降低的问题,使其能量效率和容积效率在整个使用寿命期间,呈现逐步提高直至完全磨合状态,直至轴承等易损件需要维修为止,大幅度延长了产品的维护周期,降低了使用成本。经过20多年对涡旋压缩技术的专注及研究,使公司的无油真空泵产品单级能达到0.1Pa的极限真空泵,双级能达到0.01Pa的极限真空。