一、涡旋真空泵的工作原理

涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘副啮合安装组成。涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起，动、静盘之间由防自转机构保证180°相位差，这样组成的一对涡旋盘副构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。

静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线( 在横截面上是几个点) 上接触形成几对月牙形封闭腔，动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动，接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。在电机的带动下，曲轴每转一圈，就有一组新的月牙封闭腔形成，从而实现涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环，对被抽气体形成包容和强制输送。

 

二、涡旋真空泵的应用领域

涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:

① 半导体行业: 薄膜制造设备、半导体器件封装设备;

② 科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器;

③ 机械设备行业: 材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料提纯设备、超高真空排气设备;

④ 医疗设备行业: 牙科仪器、透析机; 生物制品行业:材料提纯与药品制备;

⑤ 包装行业: 食品、药品、生物制品等包装设备;

⑥ 真空冶金行业: 真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备等领域。

涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的最佳配置。