关于氦质谱检漏仪灵敏度的定义，在世界各国还不很一致，在我国基本上都是用z*小可检漏率来表示的。

氦质谱检漏仪的灵敏度，即z*小可检漏率qmin，就是在仪器处于z*佳工作条件下，以一个大气压的纯氦为示漏气体，进行动态检漏时所能检出的z*小漏孔的漏率。所谓“z*佳工作条件”系指被检件出气很少，且没有较大漏孔，同时仪器本身的参数调整到z*佳工作状态等条件;所谓“动态检漏”即指检漏时不用累积法，检漏仪本身的真空系统仍在正常抽气，仪器的反应时间不大于3s(其中真空系统的时间常数不大于1s)等情况;所谓“z*小可检”是指信号是本底噪声的两倍(美国规定为一倍);所说的“漏孔的漏率”系指100kPa的干燥空气通过漏孔向真空端(压力远比100kPa低)的漏率。qmin可表示如下

氦质谱检漏仅只是一种对氦分压变化有反应的仪器。为了表征仪器的这种性能，以便于在实际使用时(如当质谱室处于工作压力下，用辅助泵抽气或用累积法检漏时)能方便地估计检漏效果，z*好给出仪器的z*小可检浓度γmin，即浓度灵敏度。

检漏仪的浓度灵敏度γmin，就是在质谱室处于工作压力下，使用该仪器所能检示的大气中的z*小氦浓度的变化。工作压力一般为10^ -2Pa～l0^-3Pa，z*小可检浓度系指信号与仪器噪声比为2或1时的氦浓度。因此，浓度灵敏度可由下式表示

关于灵敏度校准的方法在资料[357，408—410]中均有说明。从式(13—43)与式(13—44)可看出，灵敏度的定义是建立在漏率与输出指示成正比的基础上的，因此灵敏度的校准就必须在仪器的线性工作范围内进行。而且校准时用的标准漏孑L的漏率z*好接近仪器的灵敏度的数值，以免因输出指示的非线性造成较大误差。为慎重起见，新研制出来的仪器应测出△J+～Qo曲线，以判断线性关系的范围;

校准装置如图13—28所示。L是标称漏率为Qo的玻璃白金丝型标准漏孔，T为针阀，q为流量计(用来测量通过针阀的干燥空气的流量)。

漏量灵敏度校准启动仪器，调整好工作状态，完全打开截流阀，用针阀调节仪器工作压力，关好阀门是，打开阀门S1，用机械泵把标准漏孔进气端抽空，测仪器的噪声，转动阀门S1，使漏孔进气端与配气系统接通，由配气系统向漏孔进气端送入压力为PHe的氦气，测出与之相对应的输出仪表的指示变化AI+，则

校准漏量灵敏度时，不需测量通过针阀的空气流量，所以可以不用流量计。