涡旋干式真空泵单头涡旋齿涡旋盘,在需要较高清洁度和极限真空度时具有显著的优势,与多头涡旋齿相比,单头涡旋齿的特点如下:
(1) 工作腔数少,吸气量小。
(2) 涡旋盘结构简单,加工制造难度较低,成本降低。
(3) 涡旋齿圈数多,密封效果增强,清洁度和极限真空度高,压缩比大。
多头涡旋齿涡旋盘,在较大吸气量的场合下具有显著的优势,与单头涡旋齿相比,多头涡旋齿的特点如下:
(1) 所形成的工作腔数多,吸气量大,工作过程更为平稳,所受气体力波动变化小,热力性能高。
(2) 结构紧凑,涡旋盘的外径小。
(3) 转速低,两涡旋盘间的相对滑动速度小,进而摩擦功耗低、磨损小,运行可靠性高。
(4) 主轴偏心距小,偏心转子易平衡,动力特性好。
(5) 单条涡旋齿圈数少,压缩比小。
(6) 涡旋齿占据涡旋盘的空间范围增大,涡旋盘面积利用率降低。
(7) 工作腔数量增加,同一工作腔内的容积变化率增加,压缩进程加快。
在多涡旋齿涡旋盘结构参数设计中,齿数Z的确定极为重要,应根据多涡旋齿涡旋盘几何模型得出不同齿数下的涡旋盘结构参数组合,通过多方案比较,确定最佳的涡旋齿数和涡旋盘结构参数。