涡轮分子泵的分子泵故障处理方法

8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？

原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。

解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。

9、胶圈口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？

答：不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等

10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？

答：①电压不稳②强干扰③高压打火④人为解密

11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？

答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要专用仪器和特定的测试环境

12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是最佳方式？

答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

14、变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？

答：原因：电压低

15、分子泵叶片破碎的原因：

答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

①、误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

②、是异物掉入;没有安装过滤网肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。

③、电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。

④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

⑤、分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。

⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。