涡轮分子泵的分子泵故障处理方法

1、分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？

原因：附近有光照或其他热源

解决方法：避免光照或热源

2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？

原因：冷却不良，负载太大

解决方法：检查冷却系统，检查真空系统

3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

原因：负载太大，系统真空度不够

解决方法：检查系统

4、分子泵轴承为什么会烧毁

原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

5、有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

原因：防护网破裂，前级管道破裂

解决方法：优化系统设计

6、真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

原因：油池破裂或密封不良

解决方法：检查油池

7、正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形

原因：过热，负载大

解决措施：检查冷却系，检查系统