超高真空常用单位与定义

一、超高真空常用单位

1.毫巴（mbar）来自于气压的单位bar，1000 mbar = 1 bar = 1*105 Pa；

2.托（Torr）来自于托里拆利实验中的毫米汞柱（mmHg），760 Torr =1 atm；

3.帕（Pa）来自于国际单位制（SI），1 Pa = 1 N/m2；

备注：Pa是国际单位制中的导出单位而非基本单位

备注：1 bar严格定义为105 Pa, 1 atm严格定义为101325 Pa，两者在实际使用中基本认为一致，但定义上有所不同。

备注：在实际使用中，由于Torr和mbar数值相近，对不要求精度时一般认为等价。

备注：工程上经常会使用公斤（kg/cm2）作为压力的单位，数值上接近于105 Pa。

二、超高真空的定义

1. 超高真空（ultra-high vacuum，UHV）一般定义为10-7-10-12 mbar；

2. 高真空（high vacuum，HV）一般定义为 > 10-7 mbar；

3. 极高真空（Extreme high vacuum，XHV）一般定义为 < 10-12 mbar。