一、低温真空泵的定义

低温真空泵是一种利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵，又叫冷泵、冷凝泵，一般是以低温液体（液氮或液氦）或低温制冷机为冷源。

二、低温真空泵应用领域有哪些

低温泵适合用于需要高真空度的领域，尤其适合应用于要求洁净无油或快速抽气的场合，例如半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜等领域。

三、低温真空泵的原理与结构

低温真空泵主要由泵壳、障板和冷屏、冷头、二级冷板等组成，其作用原理是：依靠冷源提供的冷量使表面气体被冷到低温冷凝时压力下降，不冷凝气体在低温下被固体吸附剂吸附，从而达到排气的效果，获得洁净真空，低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。