涡轮分子泵的工作条件、特点和应用有哪些

由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，致使返流增加，抽气能力下降。

1  工作条件

转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。

气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。

2  特点

油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。

脂润滑分子泵：油脂量极小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。

3  其他常见应用

分析(质谱分析、电子显微镜等)

半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)

光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)

镀膜(表面保护，装饰涂料，显示器，屏幕)

真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)

泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊

研究实验(医学核磁共振成像、核粒子物理，核聚变研究，激光应用和许多更多)

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