共同点

两者同为干式真空泵，具备干式真空泵的共同优点；对被抽系统无污染，可获得洁净真空泵腔内无油，非常容易实现对溶剂的回收；结构紧凑，占地面积小。

单泵即可达到30Pa~5Pa的极限压力，工作范围较宽;因工作过程中无废油、废水的排放，对环境无污染；

对冷却水的要求较低，对于泵的冷却，普通的循环水即可满足要求，且冷却水量较小，根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组，可大大提高低压区的抽气速率并减小功耗。

不同点

因爪形真空泵为多级串联结构，每级泵均应严格控制端面间隙，即四级泵需严格控制8个端面间隙，泵在运行时的热膨胀及抽除粉未等时容易造成泵的故障，另外爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性，一般人员很难达到装配要求；

而螺杆真空泵仅需严格控制定位端的一个端面间隙，及转子间的先对间隙即可，对装配人员要求相对较低。设备运行更稳定，检修更方便。

爪型真空泵排气通道复杂，在抽除可凝性气体时（例如：水蒸汽，有机溶剂气体等），在泵腔内压缩时会产生较多的液体，这部分液体进入泵的端面造成泵的负载明显变大，四级爪形真空泵有8个端面，不宜抽除大量可凝性气体；

螺杆真空泵因其排气通道简单，进入泵内的液体可迅速排出，且轴功率无明显增加。

因爪形真空泵为多级串联结构，上级与下级之间均需安装中壁形成内部通道，该内部通道在抽除粉尘等时易堵塞且不易清洗；而螺杆真空泵的级间无需通道，是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，在抽除可凝性气体及粉尘等时不易堵塞且泵腔清洗非常方便：启动泵后直接从泵口充入水或合适的清洗剂即可将泵清洗干净。