真空泵开始工作不久,出现最低压力P'g。泵继续运转,由于泵温升高使泵油饱和蒸气压上升、黏度下降，入口压力稍有回升至Pg。Pg即是泵获得的稳定的最低压力，亦是泵的极限压力。

旋片泵的极限压力与测量时使用的真空计种类有关。用压缩式真空计测量时，极限压力值比用热传导真空计（热偶计或皮氏计等）测量的结果约低一个数量级。这是因为前者只能测得永久气体的分压，后者测得的是被压气体的全压。我国现行规定使用压缩式真空计来测量油封机械泵的极限压力。

泵循环油量也影响泵的极限压力。随着油量的增多，密封效果越好，泵的极限压力与油量的关系发生变化，最终达到油的饱和蒸气压Po。而实际上泵油中含有大量的空气和水分，泵油进入泵腔后，吸收在泵油中的空气和水分又释放出来，泵极限压力与油量的关系向上发展。一般泵油应保持在指定油位上，使泵的循环油量保持一定。对于双级泵，泵油要经过低真空级脱气后才能进入高真空级，这样可以减少泵油在高真空级中的放气量，以降低泵的极限压力。

泵的极限压力与泵油的工作温度有关。油温越高，油的饱和蒸气压越高，泵的极限压力也越高。