真空阀门是在真空系统中用来隔离(切断)气流、调节气流流量、分配气流的真空元件。种类繁多的真空装置(亦称真空工程设备)都离不开真空系统。真空阀门不论在简单或复杂的真空 系统中都占有重要的地位。
通常在真空系统设计时,要根据真空装置的要求和真空系统的特点来选择不同类型的真空阀门。例如,真空放气阀,是用来给真空系统放入大气用的。真空装置完成真空作业后,若要更换工件或取出样品,必须将大气放入真空室,使真空室大门两侧没有压差,才能打开大门进行工件更换。而针阀是向真空系统中充气,并能调节气体流量的真空阀门。
真空阀门设计原则一般应有以下几点:
1、阀门的密封性能要好,不但阀板封闭处漏气速率要小,而且阀体的漏气速率要小;
2、阀门密封部件耐磨性要好,特别是阀座与阀板密封部件要能反复使用,寿命长;
3、阀门的通导能力要大;
4、阀门材料应具有低饱和蒸汽压、高耐蚀能力和高化学稳定性;
5、超高真空阀门应耐烘烤,烘烤温度一般不低于150℃,最高450℃;
6、阀门结构要简单,造型美观大方,开关轻便灵活,开关状态应有标识,大型阀门应有起吊装置,操作方便,维修容易;
7、阀门零部件加工工艺性要好,表面处理工艺先进,阀门连接法兰应符合真空法兰国家标准要求