涡轮分子泵于1957年首次问世，各国真空企业都有产品投放市场，已获得发展和推广应用。涡轮分子泵的应用范围与扩散泵基本相同，这两种泵均可由前级泵不停地向大气中排气，进口压力在1 Pa~10-7 Pa范围，抽气都对分子类别无选择性，从70 l/s~10000l/s的泵都能得到。

分子泵输送气体应满足二个必要条件：

1、涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有 0.06 μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动 0.06 μm ，就可能与第二个气体分子相碰。而在 1.3Pa 时，分子间平均自由程可达 4.4mm 。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时，气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。

在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。

2、分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。

分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利。实践表明，对不同分子量的气体分子其速度越大，泵抽除越困难。例：H2在空气中含量甚徽，但由于H2分子具有很大的运动速度( 最可几速度为1557m/s) ，所以分子泵对H2的抽吸困难。通过对极限真空中残余气体的分析，可发现氢气比重可达85%，而分子量较大，而运动速度慢的油分子所占的比重几乎为零。这就是分子泵对油蒸气等高分子量的气体的压缩比很高，抽吸效果好的原因。