质谱检漏的正压检漏法z*常用的是吸入法，如图13-49所示。

1．吸入法检漏过程

吸枪通过细长管道与氦质谱检漏仪相连，被检件充入压力乡高于环境大气压力的氦气（或氦与氮混合或氦与大气混合气体），吸枪的吸嘴在被检件可疑有漏孔的表面以一定速度移动，通过漏孔漏出的气体的一部分进入吸嘴，随之进入检漏仪质谱室，可指出漏孔的存在。与喷吹法类似，检漏仪指示有漏时，漏孔不一定正好在吸嘴所对的被检件的部位，茌发现漏孔的范围内，减小吸枪移动速度、减小吸嘴与被检件的距离并反复查找，可以找到漏孔的准确位置，在吸嘴正好对准漏孔，吸枪不移动时，检漏仪指示的漏率可能等于或接近于漏孔的实际漏率。吸入法检漏灵敏度受很多因素限制，如漏孔的形状、吸嘴相对于漏孔的距离、吸枪相对于漏孔的夹角和移动速度、吸嘴的形状和尺寸、吸枪的吸气能力以及大气中氦气本底浓度大小及稳定情况等。

吸嘴法检漏中应注意的问题是：

①灵敏度受连接管道的流导限制。在有辅助泵时，还会受辅助泵分流作用的影响。

②初检时，被检件切勿充人过高压力的示漏气体，因为，如果有大漏孔，示漏气体会从被检件中漏出，造成较大浪费，而且示漏气体到处扩散后，会给检漏仪带来很大干扰。因此，一般应先向被检件内充以低压力、低浓度的示漏气体，在检出大漏并加以修补后，再充人高压力、高浓度的示漏气体，对小漏孔进行检查。

③检漏完毕后，应将示漏气体回收或放空，并注意检漏场地通风。