为实现真空装置的程序控制、真空工艺流程的自动转换、真空工艺参数的自动调节,通常是用一些自动控制元件、真空计、压力控制仪和工业自动化仪表、自动控制装置、微型计算机等组成的自动控制系统来实现。不同的真空装置其自动控制系统不同,即使是同一类型真空装置,因控制的技术要求不同,所采用的自动控制系统也不同。
常用的真空装置自动控制系统有继电器控制系统、压力控制仪或工业自动化调节仪表系统、可编程序控制系统、计算机控制系统等。它们各具特点,分别适用于不同的真空装置的控制。它们的性能比较如下:
真空装置各类控制性能表
自动控制系统是真空装置的重要组成部分,它对提高真空装置的技术性能起着重要作用。在确定真空装置的控制系统时,应在z*大限度地满足真空装置及其真空工艺对控制要求的前提下,妥善处理真空装置的机械结构和自动控制系统的关系,力求控制系统简单、经济,不宜盲目追求高度自动化;要合理选择自动控制元件、自动仪表及自动控制装置,保证真空装置安全、经济、可靠,并且便于操作和维修。
真空装置的自动控制系统的种类繁多,能实现的控制目标也不同,因而其设计方法也不相同。通常是根据真空装置的类型、技术指标、工艺流程、传动参数、动作要求及现场条件进行。自动控制系统设计包括原理设计和工艺设计。其原理设计主要是选择控制方案、绘制控制原理图、编制设计计算说明书等;工艺设计的目的是实现原理设计的技术指标,为控制装置的制造、调试、使用和维修提供控制系统的元器件布置图、总接线图,编写使用说明书等。