真空装置是有关工业生产和科学实验中的重要机械设备。人们经常要按照一定的要求将真空装置中的真空泵启动或停止，将其真空阀门打开或关上，或者使真空装置中的真空室中的压力按照预先规定的量值进行变化。上述真空装置的操作过程及真空室中压力调节过程称为真空控制。控制的主体是人，或者是代替人的职能的控制装置。

早期的真空装置控制为手动控制，后来，随着科学技术的发展，真空装置控制从手动控制逐步发展为自动控制。所谓自动控制，实际上是对手动控制的一种模拟，在没有人直接参与的情况下，使真空装置自动地按照预定的程序或规律运行，从而使真空工艺过程稳定，提高产品质量和劳动生产率，减轻劳动强度，防止事故发生。

在大型的真空装置及真空工程中，除要求真空泵、真空阀门能按照预定的顺序自动地运行，真空室的压力能按规定的量值进行自动调节外，还要求真空工艺流程能自动切换，能自动地完成电压、电流、温度、束流、膜厚、张力等参数的数据采集、处理、显示及控制。这样，不仅增加了需要检测的参数，而且有的参数变化很快，允许波动的范围缩小。在这种情况下，若不用自动控制，真空装置就难以运行，其真空工艺也就无法完成。因而，在设计真空装置时，必须关注真空装置的自动控制，提高真空装置的自动化水平。真空装置自动化水平的高低，已成为反映装置技术水平的主要标志之一。

真空装置实现自动控制，从而实现真空工艺过程的自动化，使真空工艺过程安全、平稳、优质、高效。早期，我国真空装置主要是用继电器、接触器及相关仪表，辅之以手动操作，完成真空系统及真空工艺过程的程序控制、互锁、超限报警等。20世纪80年代以后，计算机控制广泛地应用于真空装置的自动控制中，真空装置的自动化水平前进了一步。近年来，集管理与真空装置控制于一体的计算机集成综合自动控制系统得到发展，这将为真空设备制造厂的车间自动化及工厂自动化奠定基础。