主要工作流程
空气(新鲜空气)由空调处理器处理到所需状态,然后送至静压箱并与回风混合,然后由FFU风扇加压,然后通过高效过滤器(HEPA)
)或超高效空气过滤器(ULPA))过滤并送入洁净室;原始的旧风通过高架地板或侧壁传回干燥盘管,在干燥盘管中被冷(加热)后,由回压机传回静压。这完成了整个洁净室的空气过滤周期。
这种系统最常用于对洁净室有超静音要求的地方,例如生产大型集成电路晶片,TFT显示器,固态驱动器和其他电子洁净室。
FFU功能
1.模块化设备,位置可根据需要调整
由于洁净室的 墙板是根据天花板网格的模块布置的,并且由于其特殊的节点结构,因此可以随时调整洁净室的墙板以更改房间的布局,以适应车间的生产要求。因此,在调整房间布局时,还可以通过调整FFU的位置来满足特定场所的清洁要求。FFU是具有自身功能的模块化净化设备。它不受太多地方的限制。它可以随时调整位置或增加或减少其数量,以确保特定位置的清洁度要求。这是以前的集中供气系统无法实现的。
2.风均匀稳定
选择特殊的空气流通通道,并在设计中配备了均流系统,从而使风速均匀稳定。与以前的集中供气系统相比,避免了每个供气口空气量不均衡的问题。
3.计算机控制,节能效果显着
FFU系统中的风道数量非常少。除了需要通过风道输送的新鲜空气以外,大量的回风以较小的周期运行,因此,风道的阻力大大降低,从而减少了消耗。此外,由于FFU的表面风速通常为0.45±20%的均匀输出,因此降低了通过过滤器的空气阻力。
FFU风扇过滤器单元的风扇功率很小。他们中的大多数使用高效交流电动机。同时,风扇叶轮的形状也得到了改善,并且材料主要由铝合金制成,以防止灰尘再生,从而大大提高了整体效率。与传统的集中供气方式相比,使用FFU空气过滤器可以有效节省40%以上的能源。因此,尽管在开始阶段FFU系统成本较高,但是在以后的维护和能耗方面可以很好地节省下来。
4.缩短工期
由于FFU风扇过滤器单元的供气系统不需要像集中供气那样的巨大回风管,因此非常适合某些 墙板高度狭窄的无尘室改造项目,并且主要原因是不需要制作风管,大大缩短了施工和安装周期。对于企业而言,可以缩短工期并迅速开始施工以带来收益。
5.负压通气
由于FFU风扇过滤器单元本身可以提供静压,因此供气静压箱与净室相比为负压,并且供气静压箱中的颗粒不再受压并泄漏到清洁区域中。。
因此,即使风口安装不正确并且存在泄漏问题,其也将从洁净室泄漏到供气静压箱中,从而密封变得更加简单和安全。
6.降低运营成本
尽管在选择设备时,最初的注资要比风道通风的注资高,但它具有突出的功能,例如节能和在以后的操作中无需维护。
7.通风
这是它的独特功能。因为它可以提供静压,所以供气静压箱相对于清洁设备具有负压。这样,静压箱中的颗粒在压力下不会泄漏到清洁区域中,从而使密封简单安全。
8.灵活性
风扇过滤设备为自供电设备,不受区域限制。在巨大的清洁车间中,可以根据需要按区域进行控制。它的灵活性使这种调整变得容易。
9.安装风道改道系统,以减少噪音和压力损失,延长风扇的使用寿命,并提高风扇的效率。
10.从理论上讲,一段时间内不使用的设备可以拆除,密封,妥善保存并可以回收。
11.适用于洁净度为1-1000的洁净室,特别是组装超洁净生产线。可以根据过程需要将其配置为单次使用或多次使用,也可以将多个单元串联连接以形成100级装配线。
12.
FFU风扇过滤器单元可以使用多种方法来控制速度,并且操作电源过滤器的消耗极低,可以有效降低成本。